中新網(wǎng)1月22日電據(jù)軍報記者網(wǎng)報道，記者今天從國防科技大學(xué)獲悉，由該校機電工程與主動化學(xué)院自主研制的新一代超精密光學(xué)零件加工設(shè)備，日前通過相干單位組織的工藝考核。 成果表明，該套設(shè)備加工精度實現(xiàn)亞納米級重大突破，其范例實驗件的光學(xué)零件面形精度RMS(均方根)值達到0.361納米，標記我國超精密光學(xué)零件加工技巧跨入世界領(lǐng)先行列。 超精密加工技巧是先進設(shè)備制作的要害性瓶頸技巧，納米精度被譽為超精密加工技巧“皇冠上的明珠”。 過去，由于我國光學(xué)零件加工技巧落后，無法進行大口徑、高精度、復(fù)雜面形的光學(xué)零件加工，嚴重制約相干領(lǐng)域的技巧進步。 20世紀80年代以來，該校精密工程創(chuàng)新團隊在李圣怡教授帶領(lǐng)下，經(jīng)過30多年堅強拼搏與自主創(chuàng)新，先后突破高精度機床精密運動機構(gòu)設(shè)計、高效磁流變拋光液配制、離子束穩(wěn)固把持、光學(xué)元件亞納米全頻段誤差把持等核心要害技巧，研制出一系列具有自主知識產(chǎn)權(quán)的磁流變、離子束拋光設(shè)備，打破了發(fā)達國家對超精密加工設(shè)備的技巧封鎖，使我國成為繼美、德之后全面控制磁流變和離子束拋光設(shè)備兩種高精度光學(xué)零件加工技巧的國家。 近年來，該校精密工程創(chuàng)新團隊在“極大規(guī)模集成電路制作設(shè)備與成套工藝”國家重大科技專項二期項目和國家自然科學(xué)基金重大項目支撐下，研制成功新一代離子束拋光機床與數(shù)控光順拋光機床，其最小可控材料去除量達到0.1納米。 有關(guān)專家指出，這一自主創(chuàng)新成果可為“極大規(guī)模集成電路制作設(shè)備與成套工藝”、“高分辨率對地觀測系統(tǒng)”等國家重大科技專項供給有力技巧保障和設(shè)備支撐，將直接增進相干領(lǐng)域要害技巧突破，對于提升我國先進設(shè)備制作程度具有重要意義。 (記者王握文、通信員王孝恭、汪東)(聲明：本稿件由軍報記者網(wǎng)供給，如需轉(zhuǎn)載須經(jīng)對方授權(quán))作者：王握文王孝恭汪東。 |
