國內首臺具有納米精度的磁流變拋光設備和離子束拋光設備。 （材料圖）超精密光學零件加工技巧在包含激光核聚變項目在內的多個國家重大型號工程都有廣泛利用，進步這一技巧的工作速度和精度至關重要。 軍報記者從國防科技大學獲悉，由該校機電工程與主動化學院自主研制的新一代超精密光學零件加工設備，日前通過相干單位組織的工藝考核。 考核成果表明，該套設備加工精度實現亞納米級重大突破，標記我國超精密光學零件加工技巧跨入世界領先行列。 超精密加工技巧是先進設備制作的要害技巧，納米精度被譽為超精密加工技巧皇冠上的明珠。 過去，由于我國光學零件加工技巧落后，無法進行大口徑、高精度、復雜面形的光學零件加工，嚴重制約相干領域的技巧進步。 20世紀80年代以來，該校精密工程創新團隊在李圣怡教授帶領下，經過30多年堅強拼搏與自主創新，先后突破高精度機床精密運動機構設計、光學元件亞納米全頻段誤差把持等核心要害技巧，研制出一系列具有自主知識產權的磁流變、離子束拋光設備，打破了發達國家對超精密加工設備的技巧封鎖，使我國成為繼美、德之后全面控制高精度光學零件加工技巧的國家。 據視察者網查詢，我國正在研制的激光核聚變裝置需要大批的高精度、大口徑光學元件，要按期、保質、保量地制作這些光學元件，必須突破現有的工藝程度，采用高效的先進技巧。 傳統的持續拋光技巧加工的大口徑光學零件進度能滿足工程請求，但存在加工工期長、對人的依附性強的缺點。 近年來，該校精密工程創新團隊在極大規模集成電路制作設備與成套工藝國家重大科技專項二期項目和國家自然科學基金重大項目支撐下，研制成功新一代離子束拋光機床與數控光順拋光機床，其最小可控材料去除量達到0.1納米。 有關專家指出，這一自主創新成果可為極大規模集成電路制作設備與成套工藝高分辨率對地觀測系統等國家重大科技專項供給有力技巧保障和設備支撐，將直接增進相干領域要害技巧突破，對于提升我國先進設備制作程度具有重要意義。 |
